?公司簡介

 --Freiberg Instruments成立于2005年，源自德國弗萊貝格工業(yè)大學(xué)。初致力于開發(fā)一系列快速、無損的電氣特性測試工具，用于測量少數(shù)載流子壽命、光電導(dǎo)率和電阻率等參數(shù)。
 --2012年整合了Magnettech公司，該公司擁有25年ESR順磁產(chǎn)品經(jīng)驗；2015年又整合了EFG的X射線衍射產(chǎn)品。
 --Freiberg Instruments是一家發(fā)展迅速，充滿活力，專業(yè)又具有創(chuàng)新的的分析儀器公司，產(chǎn)品廣泛應(yīng)用于劑量學(xué)、醫(yī)學(xué)研究、材料研究、電子自旋共振、微電子學(xué)、光伏、發(fā)光年代測定和x射線衍射等領(lǐng)域。

?產(chǎn)品介紹 

MDPinline（MDP高速晶圓片在線面檢測儀--少子壽命檢測）是一種用于快速定量測量載流子壽命并集成掃描功能的檢測儀。通過工廠安裝的傳送帶將晶圓片移至儀器，在不到一秒的時間內(nèi)，就可以“動態(tài)”測量出晶圓圖。該儀器可為每個晶圓片提供完整的拓?fù)浣Y(jié)構(gòu)，有效提高了生產(chǎn)線的成本效益和效率。且其實時質(zhì)量檢測可以提高和優(yōu)化諸如擴(kuò)散和鈍化等處理步驟。 

?產(chǎn)品優(yōu)勢

 --MDPinline（MDP高速晶圓片在線面檢測儀--少子壽命檢測）可以在不到一秒的時間內(nèi)，可對一個晶圓片進(jìn)行全電特性測試。測量參數(shù)：載流子壽命(拓?fù)鋱D)、電阻率(雙線掃描)。

 --在非常短的時間內(nèi)獲得數(shù)以千計的晶圓片的統(tǒng)計信息可有效地幫助晶圓廠控制過程和生產(chǎn)。

 --適用于測量晶圓片的材料質(zhì)量，以及識別晶圓片層面的結(jié)晶問題，例如在光伏行業(yè)。

 --適用于擴(kuò)散過程的完整性控制、鈍化效率和均勻性控制。

Multicrystalline silicon wafers

?技術(shù)參數(shù)